X射线光谱仪用的硅漂移探测器

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摘要硅漂移探测器(SDD)是一个利用高电阻硅作为基片制作的半导体器件,通过在半导体晶片两面注入许多结面使高电阻硅半导体呈耗尽型半导体。

作者金友

出处《光机电信息》 1999年第5期14-21,共8页 OME Information

关键词 X射线光谱仪硅漂移探测器软X射线

分类号 TH744.15 [机械工程—光学工程] O434.12 [机械工程—光学工程]

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