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氮化镓缓冲层生长过程分析 被引量:5

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摘要 研究了用金属有机物化学气相外延(MOVPE)在蓝宝石上生长氮化镓(GaN)缓冲层的生长速率随生长温度(500~600℃)的变化关系.用原位激光反射厚度测量方法,发现生长温度、三甲基镓和氨气的摩尔流量、以及源进入双层反应室的模式都对生长速率有影响.提出了生长过程的微观模型,解释了MOVPE生长GaN缓冲层过程中观察到的现象.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期529-533,共5页 半导体学报(英文版)
基金 国家"863"高技术计划材料领域资助
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献59

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引证文献5

二级引证文献6

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