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我国攻关半导体稀土抛光液
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摘要
从包头市科技局了解到,包头稀土研究院日前与包头天骄清美稀土抛光粉有限公司签订了氧化铈新型半导体抛光液科研项目合作开发协议,标志着我国在化学机械抛光技术研发领域迈出关键步伐。
出处
《现代材料动态》
2010年第10期18-18,共1页
Information of Advanced Materials
关键词
稀土抛光粉
抛光液
半导体
包头稀土研究院
合作开发
科研项目
抛光技术
包头市
分类号
TG739 [金属学及工艺—刀具与模具]
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现代材料动态
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