微电子机械系统和片式系统

Micro Electro Mechanical System and System on a Chip

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摘要介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用，并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。 Methods, structures and applications of MEMS and system on a chip are introduced. Then some examples of MEMS and SOC, which have been developed, are presented.

作者王祁王劲松迟晓珠

机构地区哈尔滨工业大学自动化测试与控制系东北传感技术研究所

出处《传感器技术》 CSCD 1999年第3期54-56,共3页 Journal of Transducer Technology

关键词微电子机械系统片式系统 MEMS SOC Micro electro mechanical systemSystem on a chip(SOC)

分类号 TH－39 [机械工程]