摘要
报道了超晶格雪崩光电二极管的工作原理、结构、特性及其制造工艺。
The thoery,structure,characteristics,and process of the superlattice avalanche photodiode are presented.
出处
《半导体情报》
1999年第3期30-34,共5页
Semiconductor Information
关键词
超晶格
雪崩光电二极管
分子束外延
量子阱
SuperlatticeAvalanche photodiodeMolecular beam extensionQuantum well
