叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析

本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构,实现平面上的加速度监测,灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。