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X射线照相法测量超细金属丝直径
Measuring the Diameter of Ultra Thin Metal-silk by the X-ray Photography
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摘要
本文基于X射线照相技术与数字图像处理方法,实现了对超细金属丝直径的测量。与扫描电镜测量结果对比分析表明,该方法对超细金属丝直径的测量具有较高的置信度,测量不确定度分析表明,其合成测量不确定度在0.27μm左右。
作者
叶成钢
马小军
贾鹏
高党忠
刘学
机构地区
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《计量与测试技术》
2010年第10期26-27,共2页
Metrology & Measurement Technique
关键词
X射线照相
超细金属丝
边缘探测
分类号
TG115.281 [金属学及工艺—物理冶金]
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