光机电微系统概论(下)

4.4.光集成化想要超越光波导为基本的所谓光集成电路(IC)的极限,只有期待于自由度比较大的立体结构的光集成化。将采用沉积多晶硅制作的菲涅尔透镜和衍射光栅等光学元件像图6所示那样竖立在基板上,按原样把设置在防振台上的光学实验装置缩小,这样。