利用AC双磁控管阴极在大尺寸基体上进行反应性溅射电介质层
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1蒋生蕊,彭栋梁,孙文红,张承理.射频反应性溅射Cd—Sn合金靶沉积透明导电Cd_2SnO_4薄膜[J].兰州大学学报(自然科学版),1992,28(4):161-162.
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2彭栋梁,蒋生蕊.射频反应性溅射沉积的Cd_2SnO_4薄膜物理性质与缺陷特性研究[J].物理学报,1992,41(12):2055-2060. 被引量:2
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3彭栋梁,蒋生蕊,王万录.热处理对射频反应性溅射Cd-Sn合金靶沉积的Cd_2SnO_4薄膜电学和光学性质的影响[J].太阳能学报,1992,13(3):289-294.
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4卫冰.在ECR等离子体中反应性溅射纯硼靶合成立方氮化硼膜[J].等离子体应用技术快报,1999(8):7-10.
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5王树立.等离子清洗技术在大面积磁控溅射玻璃镀膜中的应用[J].消费电子,2012(07X):229-229. 被引量:1
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6曾菱,李斌.透明导电CdIn_2O_4薄膜光学常数的计算[J].真空与低温,2000,6(4):235-240.
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7李斌,曾菱,张凤山.基片温度和退火对CdIn_2O_4薄膜光学性质和载流子浓度的影响[J].光学学报,2002,22(11):1291-1295. 被引量:1