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超光滑纳米金刚石薄膜制备新技术与应用基础研究
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摘要
1项目负责人及所在单位:孙方宏,上海交通大学 2起止年限:2006年1月~2008年12月 3项目简介采用热丝化学气相沉积方法在WC-Co硬质合金基体上沉积纳米金刚石薄膜,研究开发不损伤原有硬质合金光滑衬底表面的预处理新方法,探索出在光滑WC-Co硬质合金表面沉积纳米金刚石薄膜CVD涂层新技术.
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第20期192-192,共1页
Journal of Mechanical Engineering
关键词
纳米金刚石薄膜
超光滑
新技术
基础研究
薄膜制备
WC-CO硬质合金
化学气相沉积方法
硬质合金基体
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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机械工程学报
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