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一种多晶硅应变片的设计与应用

Design and Application of Temperature-resistant Polysilicon Strain-gage
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摘要 本文介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变片以及粘贴方法,并进行了性能测试。该种应变片已用于检测电站锅炉焊缝的牢固程度,效果较为理想。 Polysilicon strain-gage being applied to special environment is introduced,including principle,design,manufacture technology and bonding method,meanwhile,its performance is tested.In practice application,the performance is better.
出处 《价值工程》 2010年第33期292-292,共1页 Value Engineering
关键词 多晶硅 应变片 粘接 polysilicon strain-gage bonding
  • 相关文献

参考文献2

  • 1[美]格雷戈里 T.A.科瓦奇.微传感器与微执行器[Z].张文栋等,译.2003,3.
  • 2何希才,传感器及其应用电路[Z].2001,3.

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