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高频等离子设备的技术应用

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摘要 高频等离子体作为新兴的生产工艺,在很多方向有着很独特的应用,本文主要介绍了该技术在纳米粉体、球化粉体、粉体喷涂等方面的应用。
出处 《科技资讯》 2010年第30期3-3,共1页 Science & Technology Information
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