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半导体封装键合工艺中常见缺陷识别和处理方法 被引量:2

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摘要 本文叙述了键合工艺的概念、键合工艺设备的改进和其产生的各种缺陷的类别。重点研究了键合工艺常见缺陷的类型和其产生的根本原因。通过对各种缺陷类型的识别,探索其产生的根本原因并找出应对方法,从而增加其合格率。
作者 李荣茂
出处 《科技信息》 2010年第30期156-156,158,共2页 Science & Technology Information
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参考文献3

二级参考文献9

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