摘要
微型机械电子系统是现代物理（介观物理、混沌物理、量子力学等）和高新技术（计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等）互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，本文介绍微型机械电子系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。
With the coming ot the 21st century,Microelectro-Mechanical Systems(MEMS)becomes an
updated hi-technology based on modern physics and modern engineering.The paper
introduces the concept,fabrication and application of MEMS in detail.It also puts forward
some research projects about MEMS.
出处
《机床与液压》
北大核心
1999年第2期20-21,68,共3页
Machine Tool & Hydraulics
