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微型机械电子系统的现在与未来 被引量:1

Today and tomorrow of microelectro-mechanical systems
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摘要 微型机械电子系统是现代物理(介观物理、混沌物理、量子力学等)和高新技术(计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等)互相融合的先进科技,是21世纪科学技术发展的前沿领域,本文介绍微型机械电子系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。 With the coming ot the 21st century,Microelectro-Mechanical Systems(MEMS)becomes an updated hi-technology based on modern physics and modern engineering.The paper introduces the concept,fabrication and application of MEMS in detail.It also puts forward some research projects about MEMS.
机构地区 广东工业大学
出处 《机床与液压》 北大核心 1999年第2期20-21,68,共3页 Machine Tool & Hydraulics
关键词 纳米技术 超微细加工 MEMS 微机械 MEMS Micro/nanotechnology Superfinishing technique
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