TiN薄膜的沉积温度对淬火钢表面硬度和临界载荷的影响

硬质TiN薄膜广泛用作高速钢刀具钢的耐磨镀层。但在其它钢种上的应用至今比较少见。本文介绍以高速钢、工具钢和表面硬化钢及硅钢为基体材料,在其表面反应性溅射沉积TiN膜,测定了临界载荷及其对沉积温度的关系。当沉积温度大于250℃时,因为各钢种开始脱碳临界载荷上升,当沉积温度超过500C时,除了高速钢外,其它钢种的临界载荷都降到最低点。