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用球滚接触疲劳法评定硬质薄膜的结合强度 被引量:11

MEASURING BONDING STRENGTH OF THIN HARD FILMS BY ROLLING CONTACT FATIGUE METHOD
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摘要 采用滚动接触疲劳法对气相沉积硬质薄膜的结合强度进行了研究结果表明,反映膜基结合强度的力学参量为界面最大剪应力幅采用数值计算的方法,可以定量得到膜基界面处的应力分布滚动接触疲劳法对非界面因素不敏感球滚接触疲劳法不仅能够反映界面因素对于结合强度的影响。 The bonding strength of vapor deposited hard films has been investigated by the rollingcontact fatigue test. The mechanical parameter of dominatiflg bonding strength is the shear stress rangeat the interface. By numeral calculation, quantified stress distribution can be obtained for film/substratesystem. Rolling contact fatigue test is insensitive to non-interfacial properties. Ball rolling contact fatiguetest can not only show the effects of interfacial factors on bonding strength but also be a better testingmethod than cylindrical one.
出处 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期523-526,共4页 Acta Metallurgica Sinica
基金 国家自然科学基金!59671084
关键词 薄膜 结合强度 硬质薄膜 球滚接触疲劳法 thin film, contact fatigue, bonding strength
  • 相关文献

参考文献8

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  • 8Chen W T,Int J Egg Sci,1971年,9卷,775页

共引文献17

同被引文献61

引证文献11

二级引证文献70

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