期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
采用电子回旋共振增强化学气相沉积方法制备传统及梯度光学薄膜
下载PDF
职称材料
导出
摘要
多层膜形成了现代光学薄膜技术的主流。这种结构的膜层的设计和制备技术已经发展到了一个高级的阶段。但近来,人们对具有梯度折射率的光学薄膜引起了较大的兴趣。在这种膜系的设计方面取得了一定的进步,特别是采用Fourier变换方法。然而。
作者
缪同群
出处
《光机电信息》
1999年第4期3-8,共6页
OME Information
关键词
光学薄膜
制备
ECR-PECVD
梯度光学薄膜
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
程华,钱永产,薛军,吴爱民,石南林.
放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响[J]
.材料研究学报,2013,27(3):307-311.
2
程华,张昕,张广城,刘汝宏,吴爱民,石南林.
用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜[J]
.材料研究学报,2010,24(5):547-549.
被引量:3
3
陈俊芳,王卫乡,廖常俊,刘颂豪,丁振峰,任兆杏.
ECR-PECVD制备Si_3N_4薄膜的光学特性研究[J]
.光子学报,1997,26(9):836-840.
被引量:3
4
任兆杏,陈俊芳,丁振峰,史义才,宋银根,王道修.
ECR-PECVD制备Si_3N_4薄膜的特性及其应用的研究[J]
.电子学报,1996,24(2):56-59.
被引量:5
5
张学宇,吴爱民,冯煜东,胡娟,岳红云,闻立时.
ECR-PECVD制备n型微晶硅薄膜的研究[J]
.人工晶体学报,2010,39(4):852-856.
被引量:1
6
张学宇,吴化,刘耀东,吴爱民.
Ar流量对ECR-PECVD制备氢化纳米晶硅薄膜结构及性能影响研究[J]
.人工晶体学报,2013,42(9):1750-1756.
7
符斯列,陈俊芳,吴先球,王宁星,张茂平,胡社军.
Spatial Distribution of ECR Plasma Density in ECR-PECVD Reaction Chamber[J]
.Plasma Science and Technology,2006,8(3):300-302.
被引量:5
8
吴先球,陈俊芳,熊予莹,吴开华,任兆杏.
ECR-PECVD制备氮化硅薄膜的键态结构[J]
.功能材料,2003,34(1):108-109.
被引量:2
9
张劲松,任兆杏,梁荣庆,隋毅峰,刘卫.
ECR-PECVD制备SiO_2薄膜中衬底射频偏压的作用[J]
.核聚变与等离子体物理,2001,21(1):59-64.
被引量:6
10
程华,王萍,崔岩,吴爱民,石南林.
基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响[J]
.材料研究学报,2011,25(4):408-412.
被引量:1
光机电信息
1999年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部