摘要
本文根据激光三角位移传感器的结构特点，提出了利用传感器自身光路和光电探测器的激光三角位移传感器光斑自检法以探测传感器入射光斑的半径。利用此方法可探测半径５０μｍ至５ｍｍ的入射光斑半径，测量分辨力为１μｍ。该方法具有装置简捷，调整方便的特点。实验表明该方法的可行性。
Accordingtothestructurefeatureoflasertriangulationdisplacementsensor,beamspeckleselfmeasuringmethodoflasertriangulationdisplacementsensorisdevelopedbyusingtheopticalpathandthephotonicsdetectoroflasertriangledisplacementsensoritself.Theradiusofthemeasuredbeamspecklecanbevariedfrom50mto5mm,themeasurementresolutionofthesensoris1m.Thismethodhasthecharactersofsimplefyingtheapparatusandadjustingconveniently.Theexperimentalresultshowsthatthetechniqueisrealizable.
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
1999年第3期242-244,共3页
Journal of Optoelectronics·Laser
关键词
激光三角位移
传感器
光斑自检
高斯光束
lasertriangulationdisplacementsensor
beamspeckleselfmeasuring
Gaussbeam
