期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
激光晶圆划片机——GPP二极管晶圆切割的理想选择
原文传递
导出
摘要
晶圆划片属于后道工序,它是指将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒)。现在普遍采用的是利用高速旋转的金刚砂轮刀片将晶圆切割成晶粒,典型代表设备为日本DISCO公司生产的DAD3系列切割机型。
作者
金朝龙
机构地区
苏州天弘激光股份有限公司
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2010年第11期I0024-I0025,共2页
Laser & Optoelectronics Progress
关键词
划片机
晶圆
切割
二极管
GPP
理想
激光
SCO公司
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
DISCO上市新型激光加工设备一台设备即可完成贴附有low-k膜的晶圆切割[J]
.电子工业专用设备,2007,36(11):4-4.
2
甄元生,乔海灵,石萍.
先进封装的后道工序[J]
.中国电子商情(元器件市场),2002(5):27-30.
3
增量旋转编码器[J]
.微特电机,2009,37(12):71-71.
4
日本Disco开发出可维持超薄晶圆强度的设备[J]
.集成电路应用,2005,22(10):23-24.
5
冯超,汪金辉,万培元,侯立刚.
1.2V基准电压源设计[J]
.软件,2014,35(5):33-36.
6
一个埋藏在地下的Disco影院[J]
.家庭影院技术,2010(11):62-63.
7
杨惠琳.
激光隐形切割技术在智能卡领域晶圆切割上的量产应用[J]
.中国集成电路,2013,22(3):54-56.
被引量:2
8
瑞萨计划在马来西亚护展后道工序工厂[J]
.金卡工程,2008,12(3):9-9.
9
瑞萨科技通过扩展马来西亚后道工序工厂和建立新的设计公司[J]
.中国集成电路,2008,17(2):82-82.
10
瑞萨扩展马来西亚后道工序工厂并建立新设计公司[J]
.金卡工程,2008,12(2):9-9.
激光与光电子学进展
2010年 第11期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部