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激光晶圆划片机——GPP二极管晶圆切割的理想选择

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摘要 晶圆划片属于后道工序,它是指将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒)。现在普遍采用的是利用高速旋转的金刚砂轮刀片将晶圆切割成晶粒,典型代表设备为日本DISCO公司生产的DAD3系列切割机型。
作者 金朝龙
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第11期I0024-I0025,共2页 Laser & Optoelectronics Progress
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