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应用材料Vantage RTP系统全球出货量突破500台
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摘要
应用材料公司宣布第500台Applied Vantage快速热处理(RTP)系统已经交付给客户,该系统被全球各地的芯片制造商用于先进存储器和逻辑芯片的制造。早在2002年上市时,Vantage系统就凭借其强大、紧凑的设计和一流的退火性能迅速赢得了客户的认可。除Vantage RTP系统外,应用材料公司已经为遍布全球的客户安装了500多套Centura RTP系统。
出处
《电子与电脑》
2010年第12期104-104,共1页
Compotech
关键词
VANTAGE
应用材料公司
P系统
RT
芯片制造
快速热处理
逻辑芯片
退火性能
分类号
TN912.26 [电子电信—通信与信息系统]
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