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俄罗斯用分子束外延技术制备32×32元HgCdTe单片红外探测器
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摘要
俄罗斯科学院半导体物理研究所西伯利亚分所已利用分子束外延技术在32×32元读出集成电路上制备出一个HgCdTe单片红外探测器。该单片探测器基于一种HgCdTe/CdTe/ZnTe/Si光敏异质结构,它是通过该研究所开发的一种既可保护读出集成电路元件又能生长高质量HgCdTe膜层的预外延制备技术制备的,其具体制备过程如下:
作者
高国龙
出处
《红外》
CAS
2010年第12期42-43,共2页
Infrared
关键词
分子束外延技术
HGCDTE
俄罗斯科学院
红外探测器
制备技术
单片
读出集成电路
物理研究所
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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