0.35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜被引量：1

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摘要介绍一种２４８ｎｍ谱线投影光刻物镜光学设计结果，提出制造该镜头应解决的一些技术问题。

作者段立安

机构地区电子工业部第四十五研究所

出处《电子工业专用设备》 1999年第1期14-18,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词投影光刻物镜光学设计分辨率投影仪

参考文献2

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电子工业专用设备

1999年第1期

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