摘要
光学微型斩波器是一种新型器件，主要用于热释电红外敏感器。本文 介绍它的结构、工作原理和制造工艺。
The optical microchopper is a new type device for pyroelectric infrared image sensor. The architecture,operation and fabrication of the optical microchopper are described.
出处
《光电子技术》
CAS
1999年第1期69-73,共5页
Optoelectronic Technology
关键词
光学微型
斩波器
热释电
红外敏感器
光学微透镜
optical microchopper, pyroelectric infrared image sensor, optical microlens, piezoresistor
