摘要
近年来,微电子技术、计算机技术、新材料和生物医学工程的迅猛发展,极大地推动了微机电系统的发展.自1987年美国首届微机电系统发展研讨会召开以来,西方主要工业国家投入了巨资进行开发研究.微机电系统已在医疗、生物、精密仪器、环境保护、航空航天、通讯、国防军工等领域展现了十分广阔的应用前景,可望成为下世纪初的支柱产业.
出处
《自然杂志》
1999年第2期98-100,共3页
Chinese Journal of Nature
关键词
微机电系统
电动机
微电子技术
21世纪
展望
microeletromechanical system, motor, techniques of micro-elec-tronics
