基于石英微共振器的非致冷红外成像列阵(下)

石英是9μm、12μm、20μm及26μm附近红外辐射的一种良好的吸收体^([25])。Palik曾经用折射指数对8μm-14μm波长范围作过理论计算^([26])。结果表明,2.5μm厚的石英在9.5μm和12.5μm附近具有约50％的吸收峰。一块2.5μm厚的石英平板在8μm-14μm红外波段吸收的平均能量约为17％。在共振器上淀积红外吸收涂层,可以增加总的红外吸收。