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尼康发布可实现5um精度的非接触式三维测量仪

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摘要日本尼康将上市最大球间距允许误差（ES，MPE）为5um的高精度非接触式三维测量仪“HN-6060”。配备新开发的多光学传感器及5轴同步控制系统，可对形状复杂的部件一次进行包括表面波纹在内的全部高精度测量。

出处《机电工程技术》 2010年第11期4-4,共1页 Mechanical & Electrical Engineering Technology

关键词高精度测量三维测量仪非接触式尼康同步控制系统光学传感器允许误差表面波纹

分类号 TH811 [机械工程—精密仪器及机械]

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机电工程技术

2010年第11期

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