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多线切割机砂浆混合搅拌理论研究 被引量:1

Study on the Mixture and Whisk of the Grit Slurry about Multi wire Slice Machine
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摘要 在针对目前太阳能行业和半导体行业普遍使用多线切割机切割单晶硅和多晶硅所使用的砂浆即SiC微粉与工作介质—轻质油混合搅拌而成的悬浮液,定量和定性剖析了混合搅拌的概念、分类、微观机理,并指出混合搅拌达到均匀混合的检验条件和方法。 This article introduces the grit slurry that is a suspension that SiC powder is mixed with the working medium—lightweight oil about now solar industry and semiconductor industry,qualitatively and rationally analyses the conception、classification、microcosmic mechanism about mixture and whisk,and indicates how to realize well-proportioned suspension to mix and whisk
出处 《电子工业专用设备》 2010年第12期47-50,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
基金 极大规模集成电路制造装备及成套工艺"重大专项中"硅材料设备应用工程2009ZX0211-002A支持项目
关键词 多线切割机 砂浆 混合 搅拌 分离强度 分离尺度 Multi wire slice machine Mixture Whisk Separateness intensity Separateness measure
  • 相关文献

参考文献2

  • 1董刚,李建功,潘凤章.机械设计[M].北京:机械工业出版社,1999.
  • 2成大先.机械设计手册第四版[M].北京:化学工业出版社,2002.

共引文献21

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引证文献1

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