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电子特种气体国产化连程加速

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摘要 近几年来,随着中国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。中国在电子特种气体国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开中国市场。
出处 《化工科技市场》 CAS 2010年第11期44-45,共2页 Chemical Technology Market
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