多路并行激活直写装置

中国科学院上海光学精密机械研究所成功研制出多路并行激光直写装置．该装置采用波长为405nm的蓝光激光光源、尼康0．9数值孔径的透镜．以及自动聚焦系统．实现了25路高精度并行激光直写。刻写的光斑线宽小于600nm。