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多晶硅薄膜ELC制备方法中控制纵向热流的探索
被引量：
1
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摘要
准分子激光晶化(ELC)制备多晶硅薄膜是当前制造低温多晶硅TFT的主流技术。本文在非晶氮化硅栅绝缘层中特定区域引入气泡区或者微孔区,大幅度减小该区域的热导率,从而在后面的准分子激光退火过程中建立起适合于晶粒超级横向生长的温度梯度,并初步分析了该方案的可行性。
作者
刘松林
机构地区
陕西天宏硅材料有限责任公司
出处
《科技创新导报》
2010年第32期11-11,13,共2页
Science and Technology Innovation Herald
关键词
多晶硅薄膜
ELC制备方法
诱生微孔
多晶硅
分类号
TQ26 [化学工程—有机化工]
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