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电容式微加速度计结构的建模及仿真 被引量：5

Structure Design and Simulation of Capacitive Micro accelerometer
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摘要 建立了电容式微加速度计的结构模型，运用有限元分析方法对其进行模态分析，研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响，得出了结构尺寸对这两者的影响规律，为此类加速度计的结构设计提供了依据。 A solid modeling of capacitive micro accelerometer structure is described. The mode analysis by means of the Finite Element Method is presented. The influence of accelerometer structural dimension on the resonance frequency and structural mode is investigated, which offers reliable basis for the structure design of micro accelerator.
作者 周华 沈连官 尤辉 李川奇
机构地区 中国科技大学精密机械与精密仪器系
出处 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第4期59-64,共6页 Optics and Precision Engineering
关键词 电容式 微加速度计 有限元 模态分析 结构设计 Capacitive micro accelerometer, FEM, Mode analysis
分类号 TH824.402 [机械工程—精密仪器及机械] O242.21 [理学—计算数学]
  • 相关文献

参考文献3

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  • 2Qiang Zou，Structure of air-water bubbly flow in a vertical pipe I,II，1997年，3223卷，284页
  • 3李德葆，振动模态分析及其应用，1993年

同被引文献28

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引证文献5

二级引证文献18

光学精密工程
1999年 第4期

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