容栅式数显角度测量系统的研制

1引言自从1972年瑞士Tfimos公司及其子公司SYL—VAC公司研制成功用于长度测量的容栅测量系统以来，容栅测量系统在精密电子量具及数显量仪上得到了广泛应用。容栅测量系统是一种无差调节的闭环控制系统，它的基本测量部分是一个差动电容器，它的作用是利用电容的电荷耦合方式将机械位移量转变成为电信号的相应变化量，将该电信号送入电子电路，再经过一系列变换和运算后显示出机械位移量的大小。