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超低压双电层晶体管研究获进展
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摘要
膜晶体管(Thin-film transistors,TFTs)是一类重要的半导体器件,在平板显示、传感器等领域具有广泛的应用价值。最近几年,宽带隙氧化物半导体由于其具有低温成膜、高电子迁移率、可见光透明等优点,在薄膜晶体管领域引起了人们广泛的研究兴趣。
出处
《光机电信息》
2010年第12期61-61,共1页
OME Information
关键词
薄膜晶体管
双电层
超低压
氧化物半导体
高电子迁移率
低温成膜
半导体器件
平板显示
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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光机电信息
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