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重掺杂P型Si_(1-x)Ge_x层中少数载流子浓度的低温特性 被引量:1

Low Temperature Characteristics of Minority Carrier Concentration in Heavily Doped p SiGe Layers
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摘要 考虑了重掺杂引起的禁带变窄效应,建立起少数载流子室温和低温模型,并进行了定量的计算。研究发现,p-Si1-xGex中的少子浓度(电子)随x的增加而增加。在重掺杂条件下,常温时,少子浓度随杂质浓度的上升而下降;而低温时,少子浓度却随杂质浓度的上升而上升。 Taking band gap narrowing effect resulting from heavy doping into consideration,calculative models for minority carrier(electron) concentration in p Si 1-x Ge x layers at room and low temperatures are presented It has been shown that the minority carrier increases with the Ge fraction in p Si 1-x Ge x layers Furthermore,it has been found that,for heavily doped SiGe layers,as the doping concentration increase,the minority carrier concentration decreases at room temperature,but increases at low temperatures
出处 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期311-313,共3页 Microelectronics
基金 北京市自然科学基金! (4982 0 0 4 ) 北京市科技新星计划基金 !(952 871 90 0 ) 电子元器件可靠性国家实验室资助课题 !(990 30 4 0 1 )
关键词 半导体材料 SIGE合金 低温特性 掺杂 Semiconductor material SiGe alloy Low temperature characteristics Doping
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献1

  • 1Fu Y,J Appl Phys,1991年,70卷,12期,7468页

共引文献5

同被引文献3

引证文献1

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