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铜布线及其设备
被引量：
8
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摘要
介绍 Ｉ Ｃ 铝布线所存在的问题，采用铜布线替代铝布线是发展趋势，并就世界主要半导体公司已经和正在推出的多种铜布线 Ｉ Ｃ，以及相关设备作一简介。
作者
翁寿松
机构地区
无锡市无线电元件四厂
出处
《电子工业专用设备》
1999年第3期13-15,18,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
铜布线
IC
设备
制造工艺
分类号
TN405.97 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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