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TDL—J75高温氧化物晶体炉的研制
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摘要
简要介绍一种控制高温氧化物晶体和生长设备， 通过与国内外同类炉型相比较，着重对该设备的机械结构设计特点及电气控制系统作较详细的说明。
作者
刘小云
张志新
杨军良
机构地区
西安理工大学晶体生长设备研究所
出处
《电子工业专用设备》
1999年第3期32-34,38,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
晶体生长炉
氧化物
晶体直拉法
激光晶体材料
分类号
TN244 [电子电信—物理电子学]
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
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