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TDI-CCD多路传输器的研制

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摘要阐述了ＴＤＩ－ＣＣＤ多路传输器的结构、工作原理、性能水平和制作工艺。

作者程开富

机构地区重庆光电技术研究所

出处《电子工业专用设备》 1999年第3期49-51,64,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 TDI-CCD 多路传感器多晶硅交迭栅埋沟 IRFPA

分类号 TN386.505 [电子电信—物理电子学] TN216.05 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

1999年第3期

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