期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
用于曝光设备的扫描工作台技术
被引量：
5
下载PDF
职称材料
导出
摘要
步进扫描曝光设备产生的抗蚀图像质量取决于晶片台与掩模台的同步性能、光学系统的质量。要获得高生产效率和０２５ μｍ 以下的分辨率能力，需要精心设计的工作台工程技术。
作者
HansButler
RichardA.George
JanBaselmans
出处
《电子工业专用设备》
1999年第3期56-61,共6页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
曙光设备
扫描工作台技术
半导体制造工艺
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
44
引证文献
5
二级引证文献
30
同被引文献
44
1
熊锋.
双维工作台空气静压导轨研制[J]
.电子工业专用设备,1993(3):16-23.
被引量：1
2
刘丹,程兆谷,高海军,黄惠杰,赵全忠,谌巍.
步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展[J]
.激光与光电子学进展,2003,40(5):14-20.
被引量：22
3
曹家勇,朱煜,汪劲松,尹文生,段广洪,张鸣.
平面电动机设计、控制与应用技术综述[J]
.电工技术学报,2005,20(4):1-8.
被引量：29
4
陈幼平,杜志强,艾武,周祖德.
一种短行程直线电机的数学模型及其实验研究[J]
.中国电机工程学报,2005,25(7):131-136.
被引量：54
5
郭庆鼎,蓝益鹏.
永磁直线伺服电机L_2鲁棒控制的研究[J]
.中国电机工程学报,2005,25(18):146-150.
被引量：32
6
郭立萍,黄惠杰,王向朝.
积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用[J]
.光子学报,2006,35(7):981-985.
被引量：9
7
袁琼雁,王向朝,施伟杰,李小平.
浸没式光刻技术的研究进展[J]
.激光与光电子学进展,2006,43(8):13-20.
被引量：16
8
刘恩荣.
充满活力的光学微细加工技术[J]
.电子工业专用设备,1990(2):1-12.
被引量：1
9
曹卫,穆海华,周云飞.
超精密平面电机控制技术[J]
.机床与液压,2007,35(5):62-64.
被引量：9
10
青山藤词郎 稻崎一郎.静压空气轴承和静亚气浮导轨[J].电子工业专用设备,1984,13(3):66-67.
引证文献
5
1
朱涛,李艳秋.
极紫外光刻真空工件台技术研究[J]
.微细加工技术,2005(1):32-37.
被引量：1
2
穆海华,周云飞,周艳红.
洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模[J]
.中国电机工程学报,2009,29(15):95-100.
被引量：16
3
刘佳红,张方,黄惠杰.
步进扫描投影光刻机照明系统技术研究进展[J]
.激光与光电子学进展,2022,59(9):197-205.
被引量：10
4
胡立业.
集成电路曝光文件自动编辑系统设计与实现[J]
.电子技术与软件工程,2023(7):158-162.
5
李若庆.
步进扫描工作台气浮结构分析[J]
.电子工业专用设备,2003,32(3):45-51.
被引量：3
二级引证文献
30
1
程鑫,吴华春.
基于DSM的可重构多DSP并行处理架构[J]
.华中科技大学学报（自然科学版）,2012,40(S2):83-86.
被引量：1
2
穆海华,周云飞,周艳红.
洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模[J]
.中国电机工程学报,2009,29(15):95-100.
被引量：16
3
滕伟,柳亦兵,穆海华.
光刻机工作台超精密运动与同步控制[J]
.机械工程学报,2011,47(11):185-190.
被引量：9
4
程鑫,周云飞.
针对多轴精密同步运动控制的并行计算架构设计[J]
.中国机械工程,2011,22(18):2156-2162.
被引量：9
5
程鑫,周云飞,胡永兵,王耀.
基于DSP的精密平面电机伺服驱动设计[J]
.仪表技术与传感器,2011(8):67-69.
被引量：5
6
程鑫,周云飞,胡永兵,王耀.
基于高速光纤链路的同步测控机制[J]
.中国机械工程,2011,22(19):2325-2330.
被引量：3
7
宁建荣,夏加宽,沈丽,王成元.
PMLSM直接驱动工作台的机电耦合有限元建模[J]
.沈阳工业大学学报,2011,33(6):618-622.
被引量：3
8
王仕博,陈学东,王君锋,曾理湛,李小清.
高性能洛仑兹电机驱动器的研究[J]
.微电机,2012,45(6):26-30.
被引量：1
9
滕伟,柳亦兵,武鑫,穆海华.
洛伦兹平面电机解耦控制与参数校准[J]
.中国电机工程学报,2012,32(21):112-118.
被引量：2
10
贾晨辉,牛童,崔凤奎.
三维表面粗糙度测量仪中应用的气浮工作台[J]
.液压与气动,2012,36(10):5-7.
1
王溪,林春,林加木,赖嘉毅,丁瑞军,何力.
利用傅里叶变换测量红外焦平面器件响应光谱[J]
.激光与红外,2016,46(2):200-203.
被引量：1
2
郭立萍,黄惠杰,王向朝.
积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用[J]
.光子学报,2006,35(7):981-985.
被引量：9
3
张永刚,李爱珍.
FTIR测量及双调制和步进扫描技术的应用[J]
.半导体光电,1999,20(4):277-280.
被引量：2
4
朱建敏,沈文忠.
步进扫描时间分辨光谱及其在太阳电池光电导上的应用[J]
.物理学报,2004,53(11):3716-3723.
被引量：1
5
陈全寿.
钯在电子产品中的重要地位[J]
.表面技术,1999,28(3):24-25.
被引量：3
6
赵立新,陈兴俊,胡松,刘业异.
光源步进扫描实现大面积光刻[J]
.电子工业专用设备,2003,32(3):52-54.
被引量：1
7
秦旭.
便携天馈系统在移动电离层测高中的应用[J]
.无线电通信技术,2017,43(3):71-75.
8
于晓光.
SXPL中用的亚0.1μm线宽抗蚀膜图形[J]
.光机电信息,1999,16(7):1-3.
9
志.
基于步进扫描的光调制反射光谱方法及装置获国家专利授权[J]
.化学分析计量,2009,18(4):38-38.
10
刘杏双.
基于无信标光APT系统捕获性能分析[J]
.现代电子技术,2017,40(7):20-23.
被引量：3
电子工业专用设备
1999年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
