摘要
本文介绍了近几年日本微型机械技术和微型传感器技术的主要进步,详细介绍了“微型机械”项目的进展情况,及其所涉及的各种新技术。
This article describes the development of Micromachine and Micro sensor in Japan, and the progress of project 'Micromachine Technology' and related technology.
出处
《传感器世界》
1999年第9期1-6,共6页
Sensor World
