微电子机械系统计算机辅助设计被引量：6

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摘要主要介绍ＭＥＭＳ计算机辅助设计（ＣＡＤ）的研究内容和发展，以及和ＭＥＭＳＣＡＤ有关的ＭＥＭＳ标准化制造技术的发展情况。

作者黄庆安秦明李伟华匡一宁朱珂章彬孟为民鞠瑜华严先蔚张昭勇

机构地区东南大学

出处《电子科技导报》 1999年第10期32-35,共4页

关键词微机械加工技术微电子机械系统 MEMS CAD

同被引文献20

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电子科技导报

1999年第10期

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