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硅基稀土热扩散法初探

Investigation of Rare Earth Thermal Diffusion on Si Substrate
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摘要 The rare earth element Gd is doped into N Si substrate using thermal diffusion process. The rectifying contact with junction function is formed and reverse breakdown voltage is higher partly than 160v. The photocurrent can be observed in part of PN junction . The rare earth element Gd is doped into N Si substrate using thermal diffusion process. The rectifying contact with junction function is formed and reverse breakdown voltage is higher partly than 160v. The photocurrent can be observed in part of PN junction .
出处 《武汉大学学报(自然科学版)》 CSCD 1999年第5期617-618,共2页 Journal of Wuhan University(Natural Science Edition)
关键词 稀土元素 掺杂 热扩散 整流接触 硅基 rare earth dope thermal diffusion rectifying contact photocurrent
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献8

  • 1Liao L S,Appl Phys Lett,1996年,68卷,850页
  • 2鲍希茂,J Appl Phys,1996年,79卷,1320页
  • 3Liao L S,Appl Phys Lett,1995年,66卷,2382页
  • 4Tong S,Appl Phys Lett,1995年,66卷,469页
  • 5Yan F,Appl Phys Lett,1995年,67卷,3471页
  • 6鲍希茂,Phys Status Solid A,1994年,141卷,K63页
  • 7鲍希茂,Appl Phys Lett,1993年,63卷,2246页
  • 8鲍希茂,Solid State Commun,1993年,86卷,559页

共引文献4

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