摘要
本文设计了ＭＯＣＶＤ自动控制电路，该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制．将该电路应用于ＭＯＣＶＤ系统，成功制备出ＴｉＯ２纳米级超细粉，在５００℃～１０００℃范围内，超细粉的平均晶粒尺寸为７４～１５２ｎｍ．
In this paper,a computer controlled MOCVD circuit is designed,and the circuit can be controlled not only by control board manually,but also by computer automatically.Applying this circuit to MOCVD system,TiO2 nanosized ultra fine powders with average grain size about 74152nm are prepared from 500 to 1000.
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第7期124-126,共3页
Acta Electronica Sinica
基金
中科院基金
博士基金
