摘要
用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成布拉格－菲涅耳元件所需的波带片图形，通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上，完成元件的制作，给出布拉格－菲涅耳光学元件测量结果。测量结果表明上述方法适于制作布拉格－菲涅耳元件。
The multilayered X ray Bragg Fresnel optics is fabricated with the zone plate profile formed on
the phptoresist on a surface of multilayer mirror by optical holography and followed by ion
beam etching into the multilayer mirror. The meansured results of the fabricated Bragg Fresnel
optics are presented. The measured results show that the method is suitable for making Bragg
Fresnel optics.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第7期993-996,共4页
Acta Optica Sinica
基金
国家自然科学基金
863激光领域青年基金
应用光学国家重点实验室基金
关键词
X射线
布拉格-菲涅耳
光学元件
多层膜
波带片
X ray Bragg Fresnel optics, multilayer coating, zone plate, ion
beam etching.
