CdTe多晶薄膜的干法腐蚀
Dry Etching on CdTe Polycrystalline Thin Film
摘要
我们采用等离子束轰击的方法,研究了干法腐蚀对多晶CdTe薄膜结构和性能的变化,以及对CdTe太阳电池性能的影响。发现与湿法腐蚀方法相比,等离子束溅射轰击不仅可以彻底清除表面的氧化层,而且可以同时改善表面的微粗糙度,增强薄膜的附着力。通过对不同腐蚀方法所制成的CdTe电池器件的性能测试,得出了电池性能较好的干法腐蚀工艺条件。
出处
《计量与测试技术》
2011年第2期60-62,共3页
Metrology & Measurement Technique
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