光刻机投影物镜波像差检测技术研究新进展

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摘要本刊讯光刻机投影物镜波像差是影响步进扫描投影光刻机性能的重要指标，直接影响光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸均匀性等关键参数。随着分辨率增强技术的不断进步和发展，光刻机投影物镜的数值孔径（NA）正逐步逼近其制造极限，这就要求波像差检测精度达到2mλ，

出处《光学与光电技术》 2011年第1期72-72,共1页 Optics & Optoelectronic Technology

关键词投影光刻机投影物镜波像差检测技术分辨率增强技术光刻分辨率步进扫描成像质量

1朱明轩,李海华,王庆康.表面等离子体透射增强提高光刻分辨率的模拟[J].微纳电子技术,2010,47(4):253-256.
2陈华,苏东奇,隋永新,章明朝,田伟,杨怀江,张巍.光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究[J].光学学报,2014,34(8):131-134. 被引量：5
3赵阳,巩岩.投影物镜小比率模型系统补偿量的选择[J].光学精密工程,2013,21(12):3029-3036. 被引量：2
4王磊,李思坤,王向朝,闫观勇,杨朝兴.基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法[J].光学学报,2015,35(4):287-297. 被引量：5
5方伟,唐锋,王向朝,朱鹏辉,李杰,孟泽江,张恒.基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术[J].光学学报,2016,36(10):115-129. 被引量：1
6张禹,陈琛,刘宵婵,李维善,王陆军.LED数字投影机短焦投影物镜设计[J].红外与激光工程,2013,42(10):2760-2764. 被引量：4
7赵阳,王平,史振广,谷勇强,刘春来,门树东.利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差[J].光学学报,2015,35(8):269-274.
8长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展[J].硅酸盐通报,2015,34(12):3556-3556.
9志.基于步进扫描的光调制反射光谱方法及装置获国家专利授权[J].化学分析计量,2009,18(4):38-38.
10赵阳,王平,赵磊,刘春来,华洋洋,门树东.利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量[J].光学学报,2014,34(8):220-225. 被引量：3

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2011年第1期

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