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一种TFT源漏极沟道尺寸的自动测量方法

Automatic Measurement for the Size of TFT Source-drain Channel
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摘要 为了实现对图像中TFT源漏极的快速定位和沟道尺寸的自动测量,采用基于图像特征点的图像识别方法。在识别过程中先采用图像处理的方法对图像进行优化,再采用多边形拟合的方法确定目标的边缘,并通过改进的角点检测方法对物体形状进行更精确的定位,从而实现了对TFT源漏极沟道尺寸的精确测量。经过实验验证,精度可达到0.02像素。 An image recognition method based on image's feature points is put forward to locate the TFT source-drain quickly and measure its channel size automatically. In the recognition process, the image processing method is used to optimize the image, the method of polygon fitting is used to detect edge of the goals, the improved corner detection is adopted to make the calibration of object's shape more accurately, so as to measure of the size of TFT source-drain channel accurately. The experiment verifies that the accuracy can reach 0.02 pixel.
出处 《现代电子技术》 2011年第4期81-83,共3页 Modern Electronics Technique
基金 四川省应用基础研究项目(2010JYQ003)
关键词 TFT 边缘检测 形态学处理 多边形拟合 角点检测 TFT edge detection morphology proeessing polygon fitting corner detection
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