新型离线与在线TCO玻璃镀膜技术

本文介绍一种基于气溶胶喷涂技术的玻璃镀膜新技术。该技术采用将液态反应源雾化并直接喷涂的方法在玻璃衬底表面镀膜。目前该技术已应用于建筑用低辐射（Low—E）玻璃镀膜、透明导电氧化物（TCO）玻璃镀膜、减反射玻璃镀膜和自清洁玻璃镀膜。值得强调的是该技术既可用于玻璃在线镀膜也可用于离线镀膜。本文中的实验是采用芬兰倍耐克公司的离线型nAEKO镀膜设备在4mm厚透明浮法玻璃上镀制TCO薄膜。1100mm×400mm的玻璃片被加热到590℃并以5m／min的速度沉积TCO薄膜。所得FTO薄膜的方块电阻小于12Ω／□，可见光透过率Tv大于80％（雾度补偿），雾度约为11％。薄膜的方块电阻的均匀性与目标值相差小于1．9Ω／□。