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TFT洁净厂房设计优化
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摘要
对当前薄膜场效应晶体管生产洁净厂房常用的典型设计特点进行介绍分析,对空气净化系统可行的几种设计方案进行分析和比较。
作者
林东安
机构地区
中国电子工程设计院
出处
《洁净与空调技术》
1999年第3期33-40,共8页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
TFT
晶体管
洁净厂房
设计
优化
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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洁净与空调技术
1999年 第3期
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