化工技术使多晶硅不再是“高耗能、高污染”产业

多晶硅生产属于高新科技项目，但生产过程中产生大量的四氯化硅等氯硅烷副产物，使生产成本居高不下，部分氯硅烷及氯化氢进入尾气，既增加了尾气处理成本，也增大了污染物的排放量。