CrN薄膜的制备及其抗氧化性的研究

采用热阴极离子镀技术,成功制备了高质量的CrN薄膜,对CrN薄膜进行了500℃-800℃的氧化实验。用高精度天平测量其质量变化、显微硬度计测量膜层硬度、XRD、XPS测量膜层结构、划痕仪测量膜层与基体的结合力等分析研究。实验结果表明:①利用热阴极离子镀技术能够制备出CrN硬质薄膜。在不同的工艺条件下,可以制备出具有面心立方结构和密排六方结构的CrN和Cr2N混合相薄膜。最高显微硬度2300HV。②所制备的CrN膜层与基体结合力较好,最高结合强度达到68N。③CrN薄膜在700℃仍具有较好的力学性能,且膜层与基体的结合力较好。